A nagyvákuumú olajdiffúziós szivattyúk előnyei és hátrányai

Előnyök:

Nagy végső vákuum:Akár 10–10–10 Pa nyomást is képes elérni, így alkalmas a legtöbb nagyvákuumú alkalmazásra.

Nagy szivattyúzási sebesség és nagy lökettérfogat:A szivattyúzási sebesség lényegesen nagyobb, mint sok más hasonló méretű szivattyúé, így ideális nagy kamrákhoz.

Egyszerű és megbízható szerkezet:A szivattyúnak nincsenek mozgó mechanikus alkatrészei, ami azt jelenti, hogy nincs kopás, vibráció vagy zaj, ami hozzájárul a hosszú távú megbízhatósághoz.

Alacsony költség és egyszerű karbantartás:A szivattyú kezdeti költsége viszonylag alacsony, minimális karbantartási igény és hosszú élettartam mellett.

Ellenáll a kis mennyiségű pornak és szennyeződéseknek:Tartósabb, mint a molekuláris szivattyúk, ha kis mennyiségű pornak vagy szennyeződésnek vannak kitéve.

Hátrányok:

Az olajszennyeződés veszélye:Az olajgőz visszaáramlik a kamrába, potenciálisan szennyezve a vákuumkörnyezetet és a munkadarabokat.

Forepump szükséges:Nem tud közvetlenül atmoszférikus nyomásról szivattyúzni, és működése mechanikus szivattyútól vagy gyökérszivattyútól függ.

Lassú indítás-és hűtés:A szivattyúnak időre van szüksége, hogy üzemi hőmérsékletre felmelegedjen, és leálláskor lehűljön.

Érzékeny a légköri expozícióra:Ha a szivattyút magas hőmérsékleten levegő felé nyitja, az olaj gyorsan oxidálódhat és lebomolhat, ami a szivattyú meghibásodásához vezethet.

Viszonylag magas energiafogyasztás:Működés közben folyamatos fűtésre és vízhűtésre van szükség, ami növeli az általános energiafogyasztást.